Procesos de fabricación de circuitos integradosapuntes docentes

Resumen

Este libro se corresponde con el tema de "Procesos de fabricación de circuitos integrados" que se imparte en la asignatura denominada "Tecnología de dispositivos y componentes electrónicos y fotónicos", del segundo cuatrimestre de la carrera de Ingeniería en Electrónica, impartida en la Universidad de Alcalá. Los contenidos que se abordan están estructurados en ocho capítulos. Cada uno de ellos está dividido en dos partes. La primera parte es teórica, en la que se analizan los aspectos fundamentales de los procesos tecnológicos de fabricación de dispositivos. La segunda parte es práctica y en ella se proponen diferentes tipos de problemas. Asimismo, se han recogido, con brevedad pero no por ello con menor precisión, los diversos aspectos de la fabricación de dispositivos: crecimiento cristalino (obleas de silicio), formación de las capas de óxidos, diversas formas de dopar con impurezas, procesos de integración (litografía, etching) y formación de capas de metales y dieléctricos. Por último, añadir que estos apuntes pretenden ser una revisión clara y actualizada de los aspectos fundamentales en la fabricación de dispositivos electrónicos y fotónicos, proporcionando al alumnado una serie de referencias bibliográficas en donde puedan ampliar los conceptos aquí tratados.