Study of high In-content AlInN deposition on p-Si(111) by RF-sputtering

  1. Núñez-Cascajero, A.
  2. Monteagudo-Lerma, L.
  3. Valdueza-Felip, S.
  4. Navío, C.
  5. Monroy, E.
  6. González-Herráez, M.
  7. Naranjo, F.B.
Revista:
Japanese Journal of Applied Physics

ISSN: 1347-4065,  0021-4922

Año de publicación: 2016

Volumen: 55

Número: 5

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.7567/JJAP.55.05FB07 GOOGLE SCHOLAR
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