Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución

  1. Sáez Landete, José Bienvenido
Supervised by:
  1. Eusebio Bernabeu Martínez Director
  2. José Alonso Director

Defence university: Universidad Complutense de Madrid

Fecha de defensa: 10 July 2006

Committee:
  1. Javier Alda Chair
  2. Juan Antonio Quiroga Mellado Secretary
  3. Tomás Morlanes Calvo Committee member
  4. Manuel Quintanilla Montón Committee member
  5. Ferran Laguarta Bertran Committee member

Type: Thesis

Abstract

El estudio de la generación y detección de señales de referencia es fundamental para el posicionado absoluto en codificadores ópticos y en alineadores de máscaras en fotolitografía. En la memoria de Tesis Doctoral se presenta un análisis de la tecnología actual utilizada para la detección absoluta de la posición en ambos sistemas. En el análisis se ponen de manifiesto las semejanzas y diferencias entre la codificación óptica absoluta y el alineamiento de máscaras, así como la posibilidad de aplicar técnicas de generación de señales similares en los dos ámbitos de aplicación. Se estudian los problemas de la tecnología existente en los dos campos y se proponen nuevas técnicas para la generación de señales de referencia, eliminando las restricciones que hasta ahora existían. También se proponen nuevos métodos de detección de la señal que resuelven el problema que provoca la difracción de la luz en su propagación en la etapa absoluta de los codificadores ópticos.