Influence of deposition conditions on nanocrystalline InN layers synthesized on Si(1 1 1) and GaN templates by RF sputtering

  1. Valdueza-Felip, S.
  2. Naranjo, F.B.
  3. González-Herráez, M.
  4. Lahourcade, L.
  5. Monroy, E.
  6. Fernández, S.
Zeitschrift:
Journal of Crystal Growth

ISSN: 0022-0248

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 312

Nummer: 19

Seiten: 2689-2694

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.JCRYSGRO.2010.05.036 GOOGLE SCHOLAR