Kinetic Monte Carlo simulation for semiconductor processing: A review

  1. Martin-Bragado, I.
  2. Borges, R.
  3. Balbuena, J.P.
  4. Jaraiz, M.
Revista:
Progress in Materials Science

ISSN: 0079-6425

Año de publicación: 2018

Volumen: 92

Páginas: 1-32

Tipo: Revisión

DOI: 10.1016/J.PMATSCI.2017.09.003 GOOGLE SCHOLAR

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