Lattice kinetic Monte Carlo simulation of epitaxial growth of silicon thin films in H2/SiH4 chemical vapor deposition systems

  1. Balbuena, J.P.
  2. Martin-Bragado, I.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2017

Volumen: 634

Páginas: 121-133

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.TSF.2017.05.013 GOOGLE SCHOLAR