Microfabrication of Sm2Co17 micromagnets for MEMS and micromotors using ultrashort pulsed hydro laser micromilling process
- Villalba-Alumbreros, G.
- Soler-Morala, J.
- Bollero, A.
- Kanitz, A.
- Hoppius, J.
- Valiente-Blanco, I.
- Diez-Jimenez, E.
ISSN: 1433-3015, 0268-3768
Año de publicación: 2023
Volumen: 129
Número: 11-12
Páginas: 4961-4970
Tipo: Artículo