Two-step method for the deposition of AlN by radio frequency sputtering

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Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2013

Volumen: 545

Páginas: 149-153

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.TSF.2013.07.062 GOOGLE SCHOLAR

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