Mejora de las características de los sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético
- J.L. Prieto
- P. Sánchez
- C. Aroca
- E. López
- M.C. Sánchez
- O. de Abril
- L. Pérez
ISSN: 0366-3175
Año de publicación: 1999
Volumen: 38
Número: 6
Páginas: 673-676
Tipo: Artículo
Otras publicaciones en: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio
Resumen
En este trabajo se describen varias mejoras al método de fabricación de sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético. Se ha mejorado el acoplo mecánico entre los dos materiales con un método combinado: deposición electrolítica de una capa de cobre que actuará de adaptador para eliminar la rugosidad superficial del piezoeléctrico; pulido mecánico y electrolítico de la superficie de cobre y, por último, una deposición posterior de material ferromagnético de alta magnetostricción por Sputtering. Con este método se elimina el pegamento viscoso que une los dos materiales y por tanto, se mejora considerablemente el acoplo mecánico y con él la sensibilidad del sensor, la estabilidad con el tiempo y la repetibilidad en el proceso de fabricación. Se abre así una puerta a una futura integración de estos sensores y a una posible fabricación en serie.