Mejora de las características de los sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético

  1. J.L. Prieto
  2. P. Sánchez
  3. C. Aroca
  4. E. López
  5. M.C. Sánchez
  6. O. de Abril
  7. L. Pérez
Zeitschrift:
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

ISSN: 0366-3175

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 38

Nummer: 6

Seiten: 673-676

Art: Artikel

DOI: 10.3989/CYV.1999.V38.I6.916 DIALNET GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor

Andere Publikationen in: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

Zusammenfassung

En este trabajo se describen varias mejoras al método de fabricación de sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético. Se ha mejorado el acoplo mecánico entre los dos materiales con un método combinado: deposición electrolítica de una capa de cobre que actuará de adaptador para eliminar la rugosidad superficial del piezoeléctrico; pulido mecánico y electrolítico de la superficie de cobre y, por último, una deposición posterior de material ferromagnético de alta magnetostricción por Sputtering. Con este método se elimina el pegamento viscoso que une los dos materiales y por tanto, se mejora considerablemente el acoplo mecánico y con él la sensibilidad del sensor, la estabilidad con el tiempo y la repetibilidad en el proceso de fabricación. Se abre así una puerta a una futura integración de estos sensores y a una posible fabricación en serie.