Mejora de las características de los sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético

  1. J.L. Prieto
  2. P. Sánchez
  3. C. Aroca
  4. E. López
  5. M.C. Sánchez
  6. O. de Abril
  7. L. Pérez
Aldizkaria:
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

ISSN: 0366-3175

Argitalpen urtea: 1999

Alea: 38

Zenbakia: 6

Orrialdeak: 673-676

Mota: Artikulua

DOI: 10.3989/CYV.1999.V38.I6.916 DIALNET GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor

Beste argitalpen batzuk: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

Laburpena

En este trabajo se describen varias mejoras al método de fabricación de sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético. Se ha mejorado el acoplo mecánico entre los dos materiales con un método combinado: deposición electrolítica de una capa de cobre que actuará de adaptador para eliminar la rugosidad superficial del piezoeléctrico; pulido mecánico y electrolítico de la superficie de cobre y, por último, una deposición posterior de material ferromagnético de alta magnetostricción por Sputtering. Con este método se elimina el pegamento viscoso que une los dos materiales y por tanto, se mejora considerablemente el acoplo mecánico y con él la sensibilidad del sensor, la estabilidad con el tiempo y la repetibilidad en el proceso de fabricación. Se abre así una puerta a una futura integración de estos sensores y a una posible fabricación en serie.