Reactive ion etching of GaN layers using SF6
- Basak, D.
- Verdú, M.
- Montojo, M.T.
- Sánchez-García, M.A.
- Sánchez, F.J.
- Muñoz, E.
- Calleja, E.
ISSN: 0268-1242
Année de publication: 1997
Volumen: 12
Número: 12
Pages: 1654-1657
Type: Article
ISSN: 0268-1242
Année de publication: 1997
Volumen: 12
Número: 12
Pages: 1654-1657
Type: Article