Air-coupled linear and sparse cMUT array manufactured using MUMPs process

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Revista:
Microsystem Technologies

ISSN: 0946-7076

Año de publicación: 2011

Volumen: 17

Número: 10-11

Páginas: 1635-1644

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/S00542-011-1346-3 GOOGLE SCHOLAR
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