Air-coupled linear and sparse cMUT array manufactured using MUMPs process

  1. Octavio, A.
  2. O'Leary, R.L.
  3. Whiteley, S.M.
  4. Martínez-Graullera, Ó.
  5. Martín-Arguedas, C.J.
  6. Gómez-Ullate, L.
  7. De Espinosa, F.M.
Revista:
Microsystem Technologies

ISSN: 0946-7076

Ano de publicación: 2011

Volume: 17

Número: 10-11

Páxinas: 1635-1644

Tipo: Artigo

DOI: 10.1007/S00542-011-1346-3 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus