Air-coupled linear and sparse cMUT array manufactured using MUMPs process

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Zeitschrift:
Microsystem Technologies

ISSN: 0946-7076

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 17

Nummer: 10-11

Seiten: 1635-1644

Art: Artikel

DOI: 10.1007/S00542-011-1346-3 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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