Deep level transient spectroscopy assessment of silicon contamination in AlGaAs layers grown by metalorganic vapor phase epitaxy

  1. Calleja, E.
  2. Sanchez, F.
  3. Muñoz, E.
  4. Gibart, P.
  5. Powell, A.
  6. Roberts, J.S.
Aldizkaria:
Journal of Electronic Materials

ISSN: 1543-186X,  0361-5235

Argitalpen urtea: 1995

Alea: 24

Zenbakia: 8

Orrialdeak: 1017-1022

Mota: Artikulua

DOI: 10.1007/BF02652976 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus